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QIII表面微粒檢測儀

更新時間:2021-09-02

簡要描述:

QIII表面微粒檢測儀
表面微粒檢測儀(SPD)測量和控制表面微粒污染的---使得其變得更好。新一代的表面微粒檢測儀涵蓋了我們核心的表面測量技術能夠分辨0.1微米的微粒并且大大增加了當今在潔凈室中的使用。

型號:廠商性質:生產廠家瀏覽量:1619

QIII表面微粒檢測儀

產品能力再定義:

表面微粒檢測儀(SPD)測量和控制表面微粒污染的---使得其變得更好。新一代的表面微粒檢測儀涵蓋了我們核心的表面測量技術能夠分辨0.1微米的微粒并且大大增加了當今在潔凈室中的使用。

隨著高科技產業開始傾向于越來越小的幾何體,工作更快,分辨率更高,產品更加復合化,表面微粒等級控制在0.1微米范圍內,成為了產量和過程控制中的關鍵。

 

優點:

可預見的,每次的儀器*恢復。

減少25-50%的恢復時間

減少50%+的顆粒數

減少干燥處理及晶圓測試

減少泵的清洗周期

提升MTBC至4X或者更多

提升10%+的工具可用性

減少PM周期時間

減少故障事件

符合ISO-14644-9表面粒子規范

 

新型QIII ULTAR SPD 包括:

HeNe激光光學0.1微米的分辨率

采用新型的靜態采樣模式提高測量精度

新型7寸高分辨率(WVGA)屏幕,顯示清晰的圖像和文字。

新式取樣頭插座設計,取樣頭更換,更輕易,便利

雙電池插槽設計,可熱抽換,新式智慧型鋰電池設計

收集的資料現在可以被很容易的通過USB下載

通過USB接口,軟件可直接被用戶升級

6個粒徑通道,增強粒子的區分的可視性

 

*時間PM自凈

如何測量過程室的潔凈度在PM期間?SPD可以大大減少PM自凈時間,green-to-green時間,并且提高了fab的吞吐量,通過使用QIII SPD,你能直接的測量物體表面精確的0.1微米的微粒。用QIII SPD開始清潔的結果是,*時間復原所有尺寸的粒子個數,讓經過處理過的工具有明顯的效果。

 

綠色-到-綠色 時間?(所有PM時間,包括了自凈時間)

降低了50%的自凈時間

保持低的green-to-green時間

QIII SPD 按PM實施

 

MTBC增長

通過結合QIII SPD在PM進程中粒子控制,MTBC可以增長。

舉例1.1:300mm介質工具

MTBC pre-QIII SPD: 174 rf hrs

MTBC post-QIII SPD: 300 rf hrs

ROI:3.6個月

 

舉例2.

舉例1.2:300mm金屬工具

MTBC pre-QIII SPD: 40 rf hrs

MTBC post-QIII SPD: 110 rf hrs

ROI:0.6個月

 

產品技術資料

尺寸(DxH):14X23X9

重量:38 lbs

電源:100-240VAC,50/60HZ

電池:鋰電池,可選電池充電器

顯示屏:WVGA 7寸觸摸屏

GUI:Windows CE

傳感器:HeNe 敏感達到0.1微米

輸出:USB或者以太網

 

探頭的選擇:

標準:1/2 直角,2 平角

查看探頭說明書里的選項

可根據要求定制


QIII表面微粒檢測儀

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